爱德华磁悬浮涡轮泵养护维修 广州潽拓光电

广州潽拓光电科技有限公司——爱德华磁悬浮涡轮泵养护维修

Leybold NT340M 德国莱宝磁悬浮分子泵控制器输入电压100/120/220/240V，Leybold NT340M 输出电压50VDC，Leybold NT340M 电流7A，适用于：Leybold MAG340M 、MAG340MC、MAG340MCT 、MAG341MCT、 MAG400、MAG400C等磁悬浮分子泵使用。

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    莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，爱德华磁悬浮涡轮泵养护维修，涡轮分子泵用于以下应用场合：- 蚀刻；- 溅射；- 离子注入；- CVD；- 光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象， 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比，磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热，能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。

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    德国莱宝 leybold tw701 分子泵维修 Leybold Tw701

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NT10　、NT12　、NT13、　NT20　、NT50　、NT151、　NT360、　NT220、　NT340、

NT450　、NT1500　、NT1000　、TDS、　TD300　、TD400　、TD20　、NT220、

NT340等

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