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分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵，这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。由于国内磁悬浮轴承技术起步较晚，将磁轴承技术应用到实际工业产品中仍存在一系列难题。 正是意识到这一问题后，公司以此为科技攻关点，经过多年的不懈努力，磁悬浮轴承技术研究取得突破。特别是针对复合分子泵的工作原理，研发出了适合复合分子泵用的磁悬浮高速电机，很后将两者结合起来，成功研发出国内生產的磁悬浮复合分子泵，并探索实现了产业化。

9、对颗粒物或沉积物敏感； 10、噪音与振动； 11、破碎问题； 12、暴露大气易引起事故； ，涡轮分子泵的特点很多，但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展，涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率，其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研，同时也需要各界的共同努力，对涡轮分子泵特点的进一步研究，相信在未来是个值得突破的课题。

爱发科分子泵， 磁悬浮分子泵应用范围***。公司研发总经理介绍，在半导体生产线、真空镀膜生产线、汽车后视镜镀膜生产线等领域都有着广阔的市场前景。 由于磁悬浮轴承技术具有无摩擦、、高精度、长寿命、低噪音、无油污等突出优点，一旦实现产业化，将成为能源、节能减排、真空机械等重大战略领域的技术。

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咱们平时总是说这对情侣很般配，经常用郎才女貌，天作之合来形容他们。其实世界万物也总是相伴而生，在真空的世界里，也有一对不离不弃的“超级情侣”。我们习惯称这对超级伴侣为前级真空泵和高真空泵。前级泵必须满足特定的抽气速度和极限真空，并且可以持续的无故障长时间运行，高真空泵极限真空极高，只有分子泵才能有此能力。

低温泵的结构通过2段式实现高真空。冷头有2段、1段冷头有较大的冷冻能力，可冷却至80K(卡尔文）以下。至此，主要是水分的排出，接下来2段冷头进一步冷却，排出N2，O2，Ar，H2等分子，以获得更高的真空。低温泵的冷冻机为2段式，1段具有较大的制冷能力，可以冷却至80K或更低，2段的制冷能力较小，可以冷却至10至12K。15K挡板(1)(冷凝板)和15K挡板(2)(吸附板)安装在冷冻机的2段上80K挡板和80K屏蔽桶安装在制冷能力较大的1段上，防止受到室温的热(辐射)。另外，为了防止吸附剂表面被覆盖，吸附剂被安装在浓缩性气体不能进入的挡板的内侧。

选择爱发科低温泵的理由

爱发科低温泵在LCD产业市占率****、OLED产业市占率95%、在光学薄膜制造方面市占率85%。

爱发科低温泵根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

爱发科设立了低温泵开发&制造基地，形成了完善的销售和售后体系。

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通用的沉积技术有化学气相淀积（CVD）、蒸发和溅射PVD。一般来说，其中还要夹杂低温（≤500℃）退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。

刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要材料的过程。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确地掩膜图形。现代化的干法刻蚀设备包括复杂的机械、电气和真空系统，爱发科真空泵咨询热线，同时配有自动化的刻蚀终点检测和控制装置。刻蚀应用工况复杂，清洁性差，充入特种气体种类繁多，因此需要特殊处理的干泵和磁悬浮分子泵。

离子注入设备：离子注入是指在真空环境下，当离子束射向固体材料时，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来，并很终停留在固体材料中的现象。离子注入是半导体表面附近区域进行掺杂的主要技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入机是集成电路制造工序中的关键设备，需要高清洁的真空环境，以保证离子掺杂浓度和剂量的准确性。

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