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Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修

概要：

涡轮分子泵是用于将真空容器内部排放呈高度真空的真空泵，通常和辅助泵配套使用。

主要用途：半导体制造装置、产业装置、研究开发设备、其他超高真空设备等。

标准规格如下：

ALCATEL阿尔卡特ATH1000M磁浮分子泵

我司对Alcatel ATH1000M分子泵维修保养内容如下：＊超声波全方面清洗转/定子叶片及腔体并烘干＊更换了全套原装进口陶瓷轴承,及密封件等损耗品＊马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量＊根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至G0.16标准＊测试0-42000rpm启动时间<6分钟 *测试极限真空值<1.0*10－7mbar *持续模拟生产现场测试24小时＊0-20KHz震动频谱加速度分析＊6000-42000rpm全转速动平衡分析及校准＊Pfeiffer HLT560氦质谱检漏仪测试分子泵的渗漏率小于2.0*10－9mbar*L/s

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Pfeiffer TCP380分子泵驱动器维修成功

Pfeiffer TCP380www.szvacuum.com德国普发分子泵控制器输入电压100～240V，功率325VA，频率50-60HZ，Pfeiffer TCP380 输出电压40VDC，电流7A，频率600-1500HZ,可以控制的分子泵有Pfeiffer TPH110,TPU110，TPH140,TPH170, TMH170，TPU180H,TPU180C,TPU180HM,TPH190, TMH190，TPH240,TPH260,TPU260，TPH270,TPH330,TPU330,TPH450H,TPU450H，TPH510,TPH520,TPH520，TPH1000，TPU100，TPH1600,TPU1600等